〈台積社會責任〉創新化學濾網應用 累計創造逾16億元減廢效益

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晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 改良濾網結構,延長其使用壽明,截至今年 6 月,共創造超過 16 億元的減廢總效益,並攜手供應商研發濾網再生功能,預計明年陸續導入所有台灣廠區晶圓廠。

台積電指出,隨著半導體先進製程演進,氣態分子汙染物 (AMC) 控制技術已成為提升晶圓良率關鍵。為減少因過濾 AMC 而產生的化學濾網廢棄物,台積電改良濾網結構,延長其使用壽命。

截至今年 6 月,台積電共減少濾網廢棄物 3251 公噸、碳排放量 12028 公噸,約當 31 座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量,成功創造超過新台幣 16 億元減廢總效益。

AMC 為環境中沉降於晶圓表面形成單分子層薄膜的氣態化學汙染物質,由於半導體製程線寬隨著技術進步日益縮小,對於無塵室生產環境的潔淨度要求也趨嚴格,導致濾網用量增加。

台積電觀察廠區使用情況,發現化學濾網對酸性氣體、鹼性氣體、有機物 3 種物質吸附能力不同,因此廠務處、資材供應鏈管理處攜手供應商開發長效型化學濾網,透過調整濾網吸附有機物的濾料比例,將化學濾網的使用壽命延長 1 倍,並自 2018 年起大量採用。

為最大化濾網使用效率,台積電 2019 年全面改用拆解式化學濾網,透過改良濾網吸附效能及結構,已有效減少超過 70% 的濾網廢棄物。

台積電去年並再次攜手供應商透過優化濾網結構,以物理方式恢復其初始吸附效能,使濾網可重複使用,今年 3 月已完成驗證,預計明年將陸續導入台灣廠區所有晶圓廠,未來可望每年再減少 20% 濾網廢棄物,總計減廢達 90%。

同時,台積也針對外氣空調箱使用的濾網進行結構改良,透過降低壓損提升其過濾與節能效果,預計明年導入後,每年將可節電 3500 萬度,持續朝節能減碳、循環再生的永續目標邁進。

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