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美企成功挑戰0.7納米製程 荷蘭ASML都做唔到

【on.cc東網專訊】綜合報道,美國公司Zyvex宣布推出世界上製造精密度最高的微影系統--Zyvex Litho1,可製作出0.7納米晶片,該曝光機製造出來的晶片主要用於量子電腦。

據Zyvex官網稱,Zyvex Litho1系統基於STM掃描隧道顯微鏡,使用EBL電子束微影技術,成功製造0.7納米晶片,相當於2個硅原子的寬度,是當前製造精密度最高的微影系統。

該EBL系統專門提供予量子電腦使用,雖然技術大幅領先荷蘭ASML EUV,惟產量非常低,不可能應付市面晶片需求,亦即無法取代EUV地位。

STM技術發明者、伊利諾伊大學教授Joe Lyding表示,到目前為止,Zyvex實驗室的技術是最先進的,亦是這種原子級精確微影技術的唯一商業化實現。

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