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〈台積電ESG〉改造超重力旋轉床 年減廢效益逾4億元

鉅亨網記者林薏茹 台北

台積電 (2330-TW) 積極推動水資源永續管理，為強化化學需氧量 (COD) 削減能力，攜手供應商針對超重力旋轉床設備進行改造，有效提升削減率 70%，預估明年導入先進製程廠區後，年減廢效益可達新台幣 4 億 731 萬元。

台積電攜手供應商針對超重力旋轉床設備進行改造，將氣提技術應用於去除有機廢液 COD 中的化學物質異丙醇 (IPA)，今年 6 月超重力旋轉床成功導入晶圓十五 B 廠，截至 8 月已減少 COD 排放 99635 公斤，預估明年依序導入晶圓十八廠、晶圓二十廠等先進製程廠區後，平均年減 COD 排放 7638 公噸。

有鑑於先進製程潔淨度需求而衍生的有機化學物質用量增加，台積電利用生物薄膜處理系統使廠區有機廢液濃度符合科學園區管理局排放標準，由於該系統運轉過程也需使用化學品，且連帶產出有機汙泥，為友善環境，並持續提升 COD 削減成效，2021 年與供應商合作分析有機廢液組成，發現 IPA 在有機廢液中占比最大。

因應 IPA 高揮發性，台積電進一步啟動以超重力旋轉床去除 IPA 的技術研究，將有機廢液經過逆滲透濃縮後，利用超重力旋轉床進行氣提，將 IPA 由液態轉為氣態，再透過蓄熱式燃燒爐進行分解；而分解 IPA 過程產生的廢熱，也可同時提供超重力旋轉床運轉使用，節省逾 50% 能耗。

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